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8英寸MEMS晶圆生产线之低应力氮化硅生长炉和原位掺杂多晶硅生长炉国际招标澄清或变更公告(1)

发布时间: 2024年04月30日
摘要信息
招标单位
招标编号
招标估价
招标联系人
招标代理机构
代理联系人
报名截止时间
投标截止时间
招标详情
下文中****为隐藏内容,仅对千里马会员开放,如需查看完整内容请 或 拨打咨询热线: 400-688-2000
相关单位:
***********公司企业信息
***********公司企业信息
项目编号: ****
公告类型: 招标变更
截止时间: 2024-05-22 10:00:00
招标机构: ****
招标地区: **省
澄清或变更简要说明:变更招标文件
****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-04-30在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:设备名称:低应力氮化硅生长炉、原位掺**晶硅生长炉
设备数量:
设备1 原位掺**晶硅生长炉(1台):包含低应力多晶硅/多晶硅/原位掺**晶硅工艺模块和TEOS工艺模块;
设备2 低应力氮化硅生长炉(1台):包含低应力氮化硅工艺模块和氮化硅工艺模块。
设备用途:用于生长低应力氮化硅/原位掺**晶硅/低应力多晶硅/多晶硅/TEOS薄膜。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:****
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之低应力氮化硅生长炉和原位掺**晶硅生长炉
项目实施地点:中国**省
招标产品列表(主要设备):
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 低应力氮化硅生长炉 1 薄膜应力范围 -40~+40MPa (4μm Poly退火后,应力可调)。其他参数详见第八章
2 原位掺**晶硅生长炉 1 应力范围 -100~0MPa,应力可调。其他参数详见第八章

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业,提供企****事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。
② ****制造厂家,也可以是设备授权代理商,代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供承诺书,格式自理)。
⑤ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-04-29
招标文件领购结束时间:2024-05-09
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:苏美达大厦8楼西侧(**市长江路198号)
招标文件售价:¥3000/$400
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2024-05-22 10:00
投标文件送达地点:苏美达大厦辅楼三楼开标大厅301室
开标地点:苏美达大厦辅楼三楼开标大厅301室
6、投标人在投标前应在必联网(https://www.****.com)或机电产品招标投标电子交易平台(https://www.****.com)完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:****
地址:**省**市**大道888号
联系人:陈逊频
联系方式:139****0315
招标代理机构:****
地址:**长江路198号11楼
联系人:江岳峰/朱志云/邓梦诗
联系方式:185****9296、025-****1619
8、汇款方式:
****银行(人民币):
****银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):

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